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砷烷
hgm
PDF 328213
砷烷(AsH3)是一種無色,密度高于空氣,可溶于水及多種有機溶劑的氣體。
產(chǎn)品特性
常溫下砷烷很穩(wěn)定,分解成氫和砷的速度非常慢,但溫度高于230°C時,它便迅速分解。
應用說明
砷烷常用于特種電子器件生產(chǎn)的摻雜、離子注入等工藝中。
應用領域
能源和化學品
電子電器