高純六氟化硫產(chǎn)品已經(jīng)通過嚴(yán)格檢測(cè)清洗和蝕刻試驗(yàn),反饋的檢測(cè)報(bào)告表明該院產(chǎn)品完全符合“5N”指標(biāo),產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
產(chǎn)品特性
分子量 146.06,常態(tài)下是一種無色、無臭、無毒、不燃、無腐蝕性的氣態(tài)物質(zhì),化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),近年來高純六氟化硫(99.999%)在電子行業(yè)的應(yīng)用發(fā)展迅速,是優(yōu)良的蝕刻氣體。