日前，河南省科技廳、財(cái)政廳發(fā)布《關(guān)于2022年度河南省重大科技專(zhuān)項(xiàng)立項(xiàng)的通知》，昊華氣體聯(lián)合申報(bào)的“集成電路用電子化學(xué)品關(guān)鍵技術(shù)研究及產(chǎn)業(yè)化”獲立項(xiàng)支持。

該項(xiàng)目瞄準(zhǔn)集成電路制造用電子材料，開(kāi)展硅基基礎(chǔ)材料、電子氣體和光刻膠中間體研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，助力我國(guó)在器件核心材料制造等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破。昊華氣體承擔(dān)該項(xiàng)目子課題“光電子級(jí)超純氨的工藝研究和產(chǎn)業(yè)化任務(wù)”。

河南省重大科技專(zhuān)項(xiàng)聚焦國(guó)家重大戰(zhàn)略需求、河南省轉(zhuǎn)型發(fā)展需要，重點(diǎn)圍繞產(chǎn)業(yè)發(fā)展和服務(wù)民生公益的重大關(guān)鍵核心技術(shù)，提質(zhì)龍頭骨干企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新水平，支撐產(chǎn)業(yè)升級(jí)發(fā)展。